(၁) Pre-PVD ကုသမှု အပါအဝင် ပစ္စည်းများကို သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကြိုတင် ကုသခြင်း။သီးခြားသန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများတွင် ဆပ်ပြာသန့်ရှင်းရေး၊ ဓာတုဗေဒအရည်ပျော်ဆေးသန့်စင်ခြင်း၊ ultrasonic cleaning နှင့် ion bombardment cleaning တို့ ပါဝင်ပါသည်။
(၂) လေဟာနယ်ခန်း သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကိရိယာများ အပါအဝင် မီးဖိုထဲသို့ ထည့်ခြင်း၊ တပ်ဆင်ခြင်း၊ လုပ်ငန်းတာဝန်ပေးခြင်းနှင့် ပစ္စည်းများ ချိတ်ဆက်ပေးခြင်း။
(၃) ဖုန်စုပ်ခြင်း၊ ယေဘုယျအားဖြင့် 6.6Pa သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပို၍စုပ်ယူခြင်းဖြင့် ဖုန်စုပ်ပန့်ကို ထိန်းသိမ်းရန်နှင့် ပျံ့နှံ့မှုပန့်ကို အပူပေးရန် အစောပိုင်းတွင် diffusion pump ရှေ့ကိုဖွင့်ပါ။ကြိုတင်အပူပေးခြင်းသည် လုံလောက်ပြီးနောက်၊ မြင့်မားသောအဆို့ရှင်ကိုဖွင့်ပြီး 6 x 10-3 Pa အောက်ခြေလေဟာနယ်သို့ ပျံ့နှံ့သွားသည့်ပန့်ဖြင့် စုပ်ထုတ်သည်။
(၄) မုန့်ဖုတ်ဆိုဒါတွေကို လိုချင်တဲ့ အပူချိန်နဲ့ ဖုတ်ပါ။
(၅) အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်း ၊ လေဟာနယ်သည် ယေဘူယျအားဖြင့် 10 Pa မှ 10-1 Pa ၊ အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲဗို့အားသည် အနှုတ်ဗို့အား 200 V မှ 1 KV ဖြစ်ပြီး တိုက်ခိုက်ချိန်သည် 15 မိနစ်မှ 30 မိနစ်ဖြစ်သည်။
(၆) ပစ္စည်းအရည်ပျော်စေရန် လျှပ်စီးကြောင်းကို ချိန်ညှိခြင်း၊ ပလပ်စတစ်အကြို အရည်ပျော်စေရန် လျှပ်စီးကြောင်းကို ချိန်ညှိပြီး 1min ~ 2min နှပ်ထားပါ။အငွေ့ပျံခြင်း အစစ်ခံခြင်း။အလိုရှိသော အစစ်ခံချိန် ပြီးဆုံးသည်အထိ ရေငွေ့ပျံလျှပ်စီးကြောင်းကို လိုအပ်သလို ချိန်ညှိသည်။အအေးခံခြင်း၊ ပစ္စည်းများကို လေဟာနယ်ခန်းရှိ အချို့သောအပူချိန်တွင် အအေးခံသည်။
(၇) ပစ္စည်းများကို ထုတ်ယူပြီးနောက် လေဟာနယ်ခန်းကို ပိတ်ပြီး လေဟာနယ်ကို l×l0-1Pa သို့ ရွှေ့ပြောင်းသွားကာ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုပန့်ကို မပြုပြင်မီ အပူချိန်အထိ အအေးခံကာ ပျံ့နှံ့သွားသော ပန့်ကို အအေးခံကာ အအေးခံရေကို မပိတ်နိုင်ပါ။